| Обозна-чение | Наименование | Ко-личе-ство | При-меча-ние |
| Весы | |||
| Сушильный шкаф | |||
| Сито | |||
| Барабанная мельница | |||
| Реактор с водяной рубашкой | |||
| Реактор | |||
| Литьевая машина | |||
| Аппарат для отделения керамической пленки от металлической подложки | |||
| Стол с подсветкой для проверки керамической пленки | |||
| Линия для нанесения внутренних электродов | РАL–3 | ||
| Пресс гидравлический | |||
| Машина для разрубки керамических пакетов на заготовки | СТМ–3 | ||
| Измерительное оборудование | |||
| Голтовочный барабан | |||
| Низкотемпературная камерная печь для утильного обжига | |||
| Высокотемпературная садочная печь | Noboterm | ||
| Измерительный комплекс | |||
| Вибратор | |||
| 19, 20, 21 | Линия внешней металлизации | ||
| Туннельная печь | |||
| Автомат лужения | |||
| Ванна для отмывки конденсаторов | |||
| Измерительный комплекс | |||
| Стол упаковки конденсаторов |
Спецификация технологических потоков на технологической схеме производства керамических конденсаторов К10–17
| Условное обозначение графическое | Наименование технологического потока |
| –1– | Порошок конденсаторного материала |
| –2– | Этиловый спирт |
| –3– | Дибутилсебацинат |
| –4– | Бутиловый спирт |
| –5– | Поливинилбутираль (ПВБ) |
| –6– | Промежуточный шликер |
| –7– | Раствор ПВБ в растворителях |
| –8– | Шликер |
| –9– | Керамическая пленка на подложке |
| –10– | Керамическая пленка |
| –11– | Годная керамическая пленка |
| –12– | Керамический пакет |
| –13– | Спрессованный керамический пакет заготовок с внутренними электродами |
| –14– | Заготовки конденсаторов |
| –15– | Мелющие тела |
| –16– | Заготовки конденсаторов после голтовки |
| –17– | Заготовки конденсаторов после утильного обжига |
| –18– | Заготовки конденсаторов после спекания |
| –19– | Заготовки конденсаторов без наружных электродов |
| –20– | Заготовки конденсаторов после вжигания наружных электродов |
| –21– | Конденсаторы после лужения |
| –22– | Готовые конденсаторы |
| –23– | Годные конденсаторы |
| –24– | Состав для лужения |
| –25– | Канифоль |
| –26– | Раствор моющий |
Рис. 2. Технологическая схема производства жидкокристаллических индикаторов
Спецификация потоков на аппаратурно-технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
| Условное обозначение Графическое | Наименование технологического потока |
| –1–1– | Хромовая смесь |
| –2–2– | Деионизованная вода |
| –3–3– | 2% раствор NаOH |
| –4–4– | 2% раствор лимонной кислоты |
| –5–5– | Изопропиловый спирт |
| –6–6– | Аргон |
| –7–7– | Перекисно-аммиачный раствор (ПАР) |
| –8–8– | Фоторезистивная композиция |
| –9–9– | 0,6% раствор NаOH |
| –10–10– | 20 % раствор HСl |
| –11–11– | 10% раствор NаOH |
| –12–12– | Ориентирующее покрытие |
| –13–13– | Герметик |
| –14–14– | Спейсеры |
| –15–15– | ЖК материал |
| –16–16– | УФ-чувствительный клей |
| –17–17– | Смесь моноэтаноламина с 20% раствором NаOH |
| –18–18– | Слив воды |
| Обозначение | Наименование | Количество |
| Установка для скрайбирования | ||
| Усройство магнетронного распыления | ||
| 2-7,11-14,19,20,22-25,28-31,45,46 | Ванна | |
| Установка сушки в парах ИПС | ||
| 10,27,40,48,54 | Микроскоп | |
| 15,26,32 | Центрифуна для сушки | |
| 16,33 | Центрифуга | |
| 17,21,34,38,47 | Сушильный шкаф | |
| Установка совмещения и экспонирования | ||
| Устройство для натирания | ||
| Устройство для нанесения краевого герметика | ||
| Установка для нанесения стекловолокна | ||
| Установка для вакуумного заполнения ЖК | ||
| Установка для герметизации | ||
| Установка для УФ сушки | ||
| Установка для снятия фасок | ||
| 49,52,55 | Прибор контроля электрических параметров | |
| Установка приклейки поляроидной пленки | ||
| Установка для приклейки выводов | ||
| Установка для маркировки | ||
| Стол для упаковки |
Спецификация оборудования на технологической схеме производства жидкокристаллических индикаторов
Рис. 3. Технологическая схема производства пластин монокристаллического кремния
| Условное обозначение графическое | Наименование технологического потока |
| –1–1– | Деионизированная вода |
| –2–2– | Моющее средство «Primalux» |
| –3–3– | Эпоксидная смола |
| –4–4– | Суспензия для резки слитков |
| –5–5– | Раствор NaOH 20% |
| –6–6– | Абразивная суспензия на основе Al2O3 |
| –7–7– | Восковая мастика Waffix |
| –8–8– | Суспензия для полировки |
| –9–9– | Раствор для травления КАРО |
| –10–10– | Раствор HF |
| –11–11– | Перекисно-соляный раствор |
| –12–12– | Перекисно-аммиачный раствор |
| –13–13– | Суспензия для полировки Nalko 2360 |
| –14–14– | Отработанная деионизированная вода |
| –15–15– | Отработанный раствор травителей |
| –16–16– | Отработанный раствор КАРО |
| –17–17– | Отработанный раствор HF |
| –18–18– | Отработанный перекисно-соляный раствор |
| –19–19– | Отработанный перекисно-аммиачный раствор |
| –20–20– | Отработанная суспензия для резки |
| –21–21– | Отработанная шлифовальная суспензия |
| –22–22– | Отработанная полировальная суспензия |
| –23–23– | Отработанная суспензия Nalko 2360 |
| –24–24– | Полирующая смесь HNO3:HF:CH3COOH |
| –25–25– | Деионизированная вода |
| –26–26– | Моющее средство Пемолюкс |
| –27–27– | Эпоксидная смола |
Спецификация потоков на технологической схеме производства пластин монокристаллического кремния
Спецификация оборудования на технологической схеме производства