5.1. Весь экран разделен на 5 информационных зон (см. рис. 2):
1 - верхняя строка - клавиши выбора меню (страниц отображения информации);
2- вторая строка - отображение текущего состояния процесса;
3- мнемоническая схема или таблица с заданными и текущими значениями
технологического процесса;
4- клавиши запуска режимов установки;
5- зона отображения диагностических сообщений и отказов (красная).
 |
Рис. 2.
В зависимости от страницы на экране могут присутствовать не все информационные зоны. Клавиши выбора меню (верхняя строка) присутствуют на каждой странице.
5.2. Вывод на экран выбранного меню осуществляется нажатием соответствующей
клавиши в верхней строке. Для этого необходимо с помощью мыши подвести
курсор к данной клавише и щелкнуть левой кнопкой мыши. На экране появится
страница выбранного меню, при этом клавиша меню в верхней строке изменит цвет
на более светлый.
5.3. Вторая строка разделена на три части (см. рис. 2):
- в первой части, на коричневом фоне отображается название автоматического режима (например, «Рабочий цикл») установки, который в данный момент активизировал оператор;
- во второй части, на темно-сиреневом фоне отображается название выполняемой рабочей подпрограммы режима (например, «Ожидание ответа оператора»);
- в третьей части, на сиреневом фоне отображается последняя выполненная рабочая подпрограмма текущего режима (например, «Механизм подложкодер-жателя путь прошел»).
5.4. В третьей информационной зоне экрана присутствует либо мнемоническая схема установки, либо таблицы с перечнем технологических параметров и их значениями - заданными и текущими, интервалами их изменения и их размерностью.
5.5. В четвертой информационной зоне экрана присутствуют клавиши запуска режимов (автоматических или ручных), которые оператор может запустить при работе с данной страницей.
5.6.
 |
В пятой информационной зоне экрана - зоне отказов - на красном фоне отображается текстовая информация по отказам и диагностическим сообщениям, например, «Нет давления в гидросети». Если в зоне отказов справа появляется клавиша с восклицательным знаком (см. рис. 3) - это означает, что не вся информация об отказах поместилась на экране в зоне отказов.
Рис. 3.
Для просмотра всей информации необходимо с помощью мыши подвести курсор
 |
к данной клавише и щелкнуть левой кнопкой. На экране появится окно с полной диагностикой отказов (см. рис. 4). Для выхода нажать клавишу «Закрыть» в этом окне.
Рис. 4.
5.7. На мнемосхеме состояние исполнительных элементов вакуумной системы в текущий момент времени отображается цветом:
белый - открыт (включен),
зеленый - закрыт (выключен),
красный - отказ,
серый - неопределенное состояние.
Если на мнемосхеме нижний квадрат откачного поста отображается белым
цветом — значит, включен форвакуумный насос откачного поста, верхний квадрат белый — высоковакуумный насос откачного поста (ТМН). Во время разгона высоковакуумного насоса прямоугольный контур откачного поста мигает белым, после разгона — отображается белым.
На мнемосхеме в прямоугольниках Д1, Д2 отображаются числовые значения низкого и высокого вакуума в Па.
Если на клавише запуска режима название режима отображается белым цветом, то данный режим включен (активизирован), зеленым цветом - выключен.
В таблице, расположенной в правом верхнем углу мнемосхемы, отображается давление воды на входе установки и температура воды на сливе водоохлаждаемых устройств. Если температура водоохлаждаемого устройства отображается на голубом фоне, то необходимый уровень расхода достигнут.
5.8. В выводимых на экран страницах экранного меню приняты следующие обозначения и сокращения:
1.21е-04 - пример обозначения степени вакуума, соответствующей
общепринятому 1.21 • 10-4 Па;
РЦ - рабочий цикл;
Кл - клапан;
Кл-Г - клапан подачи газа;
Д - вакуумный датчик (вакуумметр);
БПН - блок питания нагревателя;
ТМН - турбомолекулярный насос;
БПМ - блок питания магнетрона;
М - магнетрон;
РРГ - регулятор расхода газа;
УУН - устройство управления натекателем.
КОМАНДЫ ОПЕРАТОРА ПРИ РАБОТЕ НА УСТАНОВКЕ.
ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ.
Управление процессом включает последовательный набор следующих основных операций:
1) настройка параметров работы установки;
2) ввод и передача технологических параметров;
3) Запуск режима «Тренировка»;
4) запуск режима «Рабочий цикл».
А также вспомогательных:
1) запуск режима «Аварийное отключение»;
2) запуск режима «Сброс».
Существует также наладочный режим, предназначенный для проведения наладочных работ, к которым можно отнести:
1) проверку работоспособности элементов вакуумной системы (откачного поста, клапанов);
2) проверку работоспособности элементов газовой системы (РРГ);
3) проверку работоспособности механизма вращения заслонки;
4) проверку работоспособности механизма вращения подложкодержателя;
5) проверку работоспособности механизма вращения дроссельной заслонки;
6) проверку работоспособности механизма вращения пластины;
7) проверку работоспособности технологических блоков (нагрева и БПМ);
8) проверку работоспособности дискретных входов-выходов («Формат»);
9) проверку работоспособности аналоговых входов-выходов («Формат»).
 |
6.2. НАСТРОЙКА ПАРАМЕТРОВ УСТАНОВКИ.
Рис. 5.
После запуска программы в соответствии с п.4 настоящего Руководства на экране монитора появится мнемосхема установки.
Войти в меню «Настройка» в соответствии с п.5.2 настоящего руководства. На экране появится страница рис. 5.