Материал | Удельное газовыделение, Па×м3/кг | Скорость удельного газовыделения, Па×м3/(м2×с) | Температура, °С / (вакуумн. обр., ч) |
Вольфрам | - | 1,3×10-6 | |
0,02 - 0,04 | - | ||
Латунь | - | 3,1×10-5 | |
Медь | 4,22×10-2 | (0,64-1,95) ×10-4 | |
(0,1-9,3) ×10-9 | 400/15 | ||
5,25×10-2 | |||
8,29×10-2 | |||
Молибден | 7,1×10-2 | ||
1,68×10-1 | |||
2,43×10-1 | |||
3,76×10-1 | |||
0,80 | |||
9,3×10-6 | 25/1 | ||
Никель | 2,14×10-1 | ||
4,58×10-1 | |||
5,11×10-1 | |||
6,58×10-1 | |||
0,8 | |||
8×10-6 | 25/1 | ||
Алюминий | (4-9) ×10-6 | 25/2 | |
Тантал | 6×10-6 | ||
1,2×10-5 | 25/1 |
Продолжение таблицы 3 | |||
Материал | Удельное газовыделение, Па×м3/кг | Скорость удельного газовыделения, Па×м3/(м2×с) | Температура, °С / (вакуумн. обр. , ч) |
Ковар | 5×10-2 | ||
1,47×10-1 | |||
0,384 | |||
1,369 | |||
Дюралюминий | 5,57×10-4 | 25/1 | |
1,9×10-4 | 25/5 | ||
Фторопласт | 1×10-4 | ||
7×10-5 | 25/3 | ||
Полиэтилен | 4×10-5 | 25/3 | |
Тефлон | 6,6×10-5 | 25/1 | |
Плексиглаз | 1,3×10-5 | 25/1 | |
Стали | |||
8,8×10-4 | 4×10-4 | ||
конструкционная | 1,3×10-7 | ||
хромированная | 10-8 – 10-10 | 450/15 | |
1Х18Н10Т | 2,72×10-1 | ||
3,57×10-1 | |||
нержавеющая | 3,7×10-2 | 4×10-5 | |
Стекла | |||
С 49-2 | 4×10-1 | ||
С 87-1 | 5,33×10-1 | ||
С 48-1 | 8,0×10-1 | ||
С 48-3 | 6,7×10-1 | ||
П-15 | 4,65×10-1 | ||
Резины | |||
5,3×10-5 | |||
2,7×10-5 | |||
ИРП-1015 | 2,4×10-4 | ||
ИРП-1368 | 4,4×10-4 | ||
ИРП-2043 | 2,7×10-4 | ||
Вакуумная необработанная | 1,0×10-2 |
Таблица 4
Коэффициенты, характеризующие процесс газопроницаемости материалов
Материал | Газ | j | Kо, м3·Па·м/(Па1/j·м2·с) | Епр, Дж/моль |
Алюминий | Водород | 3,6·10-2 | 3,60·105 | |
Железо | Водород Азот Оксид углерода | 1,4·10-4 3,8·10-4 1,1·10-4 | 8,04·104 1,99·105 1,56·105 | |
Каучук | Водород Азот Кислород Гелий | 5,1·10-5 1,5·10-5 1,0·10-5 1,5·10-6 | 2,98·104 2,72·104 3,14·104 2,72·104 | |
Кварц | Водород Гелий Азот | 2,2·10-10 3,2·10-9 1,2·10-7 | 3,60·104 2,28·104 9,24·104 | |
Медь | Водород | 2,0·10-4 | 1,39·105 | |
Никель | Водород | 3,0·10-3 | 1,15·105 | |
Палладий | Водород | 1,2·10-3 | 8,88·104 | |
Платина | Водород | 1,0·10-3 | 1,51·104 | |
Серебро | Кислород | 3,4·10-3 | 1,89·105 | |
Резина 7889 | Азот | 3,6·10-7 | 2,60·105 | |
Полиэтилен | Азот Кислород Водород Гелий Аргон | 9,0·10-13 3,0·10-12 8,2·10-12 5,7·10-12 2,7·10-12 | ||
Полистирол | Кислород Водород Гелий | 5,1·10-13 1,3·10-11 1,3·10-11 | ||
Фторпласт 4 | Азот Кислород | 1,0·10-9 1,0·10-9 | ||
Резины: 7880 ИРП-1015 ИРП-1368 ИРП-2043 | Воздух | 1,0·10-5 | ||
9,0·10-7 | ||||
5,0·10-7 | ||||
3,0·10-4 | ||||
5,0·10-7 |
Таблица 5
Теплофизические свойства огнеупорных и теплоизоляционных материалов
Изделие | Плот-ность, кг/м3 | Коэффициент теплопроводности, Вт/(м*К) | Рабочая температура, °С | Теплоемкость, кДж/(кг К) | |
Алюмохромфосфатный газобетон | М-600 | 0,163+2,8×10-4t | - | ||
М-400 | 0,093+3,0×10-4t | - | |||
Асбестовый картон | 0,16+1,7×10-4t | 0,837 | |||
Вермикулит | 0,150-0,25 | 0,072+2,6×10-4t | 900-1000 | 1,03 | |
Вермикулитовые плиты | 350-400 | 0,08+1,5×10-4t | 1,15 | ||
Вермикулитофосфат-ные изделия | 400-500 | 0,105+1,8×10-4t | - | ||
Высокоглиноземистые | 2,1-6,2×10-4t | 0,837+2,6×10-4t | |||
0,86+0,8×10-4t | |||||
Гранулированный фосфозит | 500-600 | 0,265+0,8×10-4t | - | ||
Диатомитовые | 0,27+2,3×10-4t | 0,83-0,92 t | |||
0,17+3,5×10-4t | |||||
Диатомитовые засыпки | 0,1+2,8×10-4t | 1,0 | |||
Динасовые | 1,07+9,3×10-4t | 1650-1700 | 0,795+33,5×10-4t | ||
0,58+4,3×10-4t | |||||
Карбидокремниевые | 2000-2500 | 5,2-1,3×10-3t | 1400-1450 | 0,96+1,4×10-4t | |
Керамовермикулитовые | 0,085+2,1×10-4t | 0,8 | |||
Кирпич пеношамотный | 0,10+1,45×10-4t | 0,24+2,0×10-4t | |||
Корундовые | 600-2900 | 2,1+2,15×10-3t | 1600-1700 | 0,419+8,8×10-4t | |
Легковесный динасовый кирпич | 0,47+2,57×10-4t | - | |||
Магнезитовые | 300-2700 | 4,65-1,7×10-3t | 1650-1700 | 0,942+2,5×10-4t | |
Магнезитохромитовые | 700-2500 | 4,0-8,2×10-4t | - | ||
Минераловатный войлок | 0,093+2,6×10-4t | - |
Продолжение таблицы 5 | ||||
Изделие | Плотность, кг/м3 | Коэффициент теплопроводности, Вт/(м*К) | Рабочая температура, °С | Теплоемкость, кДж/(кг К) |
Минеральная вата | 0,047+5,8×10-3 | 0,921 | ||
Муллитовые | 200-2900 | 2,96-1,1×10-3t | 0,87+1,3×10-4t | |
Муллитокремнеземи-стое волокно | 0,034+2,6×10-4t | 0,94 | ||
Периклазошпинеле-вые | 2,5-5,8×10-4t | 0,775+3,0×10-4t | ||
Перлитовые | 200-250 | 0,068+0,9×10-4t | 0,84 | |
Плиты перлитоасбестокаоли-новые | 300-400 | 0,078+2,3×10-4t | - | |
Полукислый кирпич | 0,85+4,0×10-4t | 1250-1400 | 0,88+2,3×10-4t | |
0,47+5,1×10-4t | ||||
Псевдодиатомитовые | 0,0778+3,2×10-4t | - | ||
Совелит | 230-250 | 0,09+8,7×10-4t | - | |
Совелитовые плиты | 400-450 | 0,079+1,86×10-4t | 450-500 | - |
Трепел в порошке | 0,1046 | - | ||
Угольные | 350-1600 | 23,2+3,5×10-4t | 0,837-1,2t | |
Форстеритовые | 5,3-1,1×10-3t | - | ||
Фосфокерамзитобетонные | 0,314+2,4×10-4t | - | ||
Фосфоперлитовые | 200-300 | 0,067+1,2×10-4t | - | |
Хромомагнезитовые | 2,0-8,5×10-4t | 0,754+1,5×10-4t | ||
Шамотноволокнистые плиты | 0,13+1,0×10-4t | 0,058+1,7×10-4t | ||
Шамотные | 1,04+1,5×10-4t | 1350-1500 | 0,837+2,6×10-4t | |
0,7+6,4×10-4t | ||||
0,61+1,8×10-4t | ||||
0,28+2,3×10-4t | ||||
0,21+4,3×10-4t | ||||
Шамотные засыпки | 0,23+4,9×10-4t | 1,17 | ||
Шлаковая вата | 0,065+3,5×10-4t | 0,88 | ||
200-250 | 0,058+1,6×10-4t |
Литература
1. Теория, конструкции и расчеты металлургических печей: учеб. / под ред. В.А. Кривандина. - 2-е изд., перераб. и доп. - В 2-х т., Т. 2. Б.С. Мастрюков. Расчеты металлургических печей. - М.: Металлургия, 1986. - 376 с.
2. Розанов Л.Н. Вакуумная техника: учеб. / Л.Н. Розанов. – 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высшая школа, 1990. - 320 с.
3. Смоляг Н.Л. Технология электрохимических производств : учеб. –метод. пособие / Н.Л. Смоляг. – Минск: БГТУ, 2007. – 98с.
4. Технология полупроводников: метод. указания для студентов специализации 1-48 01 01 13 «Химическая технология материалов квантовой и твердотельной электроники» / Н.В. Богомазова, И.М. Жарский. - Минск: БГТУ, 2007. - 46 с.
5. Мурашкевич А.Н. Оборудование производств материалов и изделий электронной техники: учеб. пособие / А.Н. Мурашкевич, И.М. Жарский. - Минск: БГТУ, 2005. – 242 с.
6. Тэхналагiчныя працэсы i апараты галiны: метадычныя ýказаннi для студэнтаý вочнай i завочнай форм навучання спецыяльнасцi Т. 11.03.00 / Дз.Р. Калiшук, М.П. Саевiч; пад агул. рэд. Дз.Р. Калiшука. – Мiнcк: БГТУ, 2001. – 51 с.
7. Новый справочник химика и технолога. Процессы и аппараты химических технологий. - Ч. II. – СПб.: НПО «Профессионал», 2006. – 916 с.
8. Пичугин И. Г. Технология полупроводниковых приборов: учеб. пособие / И.Г. Пичугин, Ю.М. Таиров. - М.: Высшая школа, 1984. - 288 с.
9. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: справ. / З.Ю. Готра. – М.: Радио и связь, 1991. – 528 с.
10. Киреев, В.Ю. Технология микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы /В.Ю. Киреев, А.А. Столяров. – М.: Техносфера, 2006. – 192 с.
11. Кудинов В.В. Нанесение покрытий напылением. Теория, технология и оборудование: учеб. / В.В.Кудинов, Г.В. Бобров. - М.:Металлургия, 1992. - 432 с.
12. Технология СБИС / Под ред. Зи С. - В 2-х кн. - М.: Мир, 1986.
13. Моро У. Микролитография. Принципы, методы, материалы / У. Моро. - М.: Мир, 1990. - 368 с.
14. Турцевич, А.С. Пленки поликристаллического кремния в технологии производства интегральных схем и полупроводниковых приборов / А.С. Турцевич, Л.П. Ануфриев. - Минск: Бел. наука, 2006. - 232 с.
15. Горлов М.И. Технологические отбраковочные и диагностические испытания полупроводниковых изделий / М.И. Горлов, В. А. Емельянов, Д.Л. Ануфриев. - Минск: Бел. наука, 2006. - 367 с.
16. Нанотехнологии в электронике / под ред. Ю.А. Чаплыгина. - М.: Техносфера, 2005. - 446 с.
17. Химическая обработка в технологии ИМС / В.П. Василевич, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, Ю.А. Родионов. – Полоцк: ПГУ, 2001.– 260с.
18. Поляков А.А. Технология керамических радиоэлектронных материалов / А.А. Поляков. - М.: Радио и связь ,1989. - 200 с.
19. Окадзаки К. Технология керамических диэлектриков / К. Окадзаки. - М.: Энергия, 1976. - 336 с.
20. Рез И.С. Диэлектрики. Основные свойства и применение в электронике / И.С. Рез, Ю.М. Поплавко. - М.: Радио и связь, 1989. - 288 с.
21. Технология производства материалов магнитоэлектроники / под ред. Л.М. Летюка. - М.: Металлургия, 1994. - с.
22. Ротенберг Б.А. Керамические конденсаторные диэлектрики / Б.А. Ротенберг. - СПб.: Типография ОАО НИИ «Гириконд», 2000. – 246 с.
23. Блистанов А.А. Кристаллы квантовой и нелинейной оптики: учеб. пособие / А.А. Блистанов. – М.: МИСИС, 2000. – 432 с.
24. Поплавский В.В. Техника высокого вакуума: учеб. пособие / В.В. Поплавский. - Минск: БГТУ, 2001. – 363 с.
25. Левицкий И.А. Расчет тепловых процессов, установок и агрегатов керамического производства: учеб. пособие / И.А. Левицкий. – Минск: БГТУ, 2003. – 163 с.
26. Свенчанский А.Д. Электрические промышленные печи: учеб. в 2-х ч. / Ч. 1. А.Д. Свенчанский. Электрические печи сопротивления. - М.: Энергия, 1975. - 384 с.
27. Тимонин А.С. Основы конструирования и расчета химико-технологического и природоохранного оборудования: справ. в 3-х т. / А.С. Тимонин. – Калуга: из-во Н.Б. Бочкаревой, 2002. - т. 1 – 852 с., т.2 – 968 с., т. 3 – 1028 с.
28. Блинов И.Г. Оборудование полупроводникового производства: учеб. пособие / И.Г. Блинов, Л.В. Кожитов. - М.: Машиностроение, 1986. - 264 с.
29. Сиденко П.М. Измельчение в химической промышленности / П.М. Сиденко. – 2-е изд., перераб. - М.: Химия, 1977. - 362 с.
30. Тетеревков А.И. Оборудование заводов неорганических веществ и основы проектирования: учеб. пособие /А.И. Тетеревков, В.В. Печковский . - Минск: Выш. школа, 1981. - 254 с.
31. Standard thermodynamic properties of chemical substances // CRC PRESS LLC, 2000 – P.57
32. Васильев, В.П. Термодинамические свойства соединений AIIIBV / В.П. Васильев, Ж.-К. Гашон // Неорган. мат. – 2006. – Т.42. №11. – С.1293‑1303.
33. Бухмиров, В.В. Справочные материалы для решения задач по курсу «Тепломассообмен» / В.В. Бухмиров, Д.В. Ракутина, Ю.С. Солнышкова. – Иваново: ГОУ ВПО «Ивановский государственный энергетический университет имени В.И. Ленина», 2009. – 102 с.
34. Плисковский, В.Я. Конструкционный материалы и элементы вакуумных систем. / В.Я. Плисковский. – М.: «Машиностроение», 1976. – 64 с.
35. Плотников, Ю.Д. Методические указания по выполнению курсовой работы на тему «Расчет вакуумной системы». / Ю.Д. Плотников. – М.: МГИЭиМ, 2005. – 29 с.
36. Сезоненко, А.Ю. Сплавы для нагревательных элементов для электропечей сопротивления, промышленных и бытовых нагревателей – замена нихромов и фехралей / А.Ю. Сезоненко // ИТБ "Литьё Украины". – 2007. – Т.78. №2.
37. Волков А.И. Большой химический справочник / А.И. Волков, И.М. Жарский. – Мн.: Современная школа, 2005. – 608с.
38. Вакуумная техника: Справочник / Е.С. Фролов [и др.]; под общ. ред. Е.С. Фролова. – М.: Машиностроение, 1992. – 480 с.
39. Технология изделий интегральной электроники / Л.П. Ануфриев [и др.]; под общ. ред. А.П. Достанко и Л.И. Гурского. – Мн.: Амалфея, 2010. – 536 с.
40. Витязь, П.А. Основы нанотехнологий и наноматериалов: учебное пособие / П.А. Витязь, Н.А. Свидунович. – Мн.: Выш. шк., 2010. – 302 с.
41. Экономическое обоснование дипломных проектов: учебн. –метод. пособие для студентов заочной формы обучения специальности 1-48 01 01 «Химическая технология неорганических веществ, материалов и изделий» / сост. Л.А. Сюсюкина, Е.И. Сидорова. – Мн.: БГТУ, 2006. – 60 с.
ОГЛАВЛЕНИЕ
Предисловие | |
1. Методические указания к выполнению курсовых проектов (РАБОТ) | |
1.1. Тематика курсовых проектов | |
1.2. Указания к выполнению технологической курсовой работы | |
1.2.1. Общие указания | |
1.2.2. Аналитический обзор литературы | |
1.2.3. Инженерные решения | |
1.2.4. Технологический раздел | |
1.2.4.1. Структура и содержание | |
1.2.4.2. Указания по проведению технологических расчетов | |
1.2.5. Контроль качества продукции и метрологическое обеспечение технологии | |
1.2.6. Мероприятия по охране окружающей среды | |
1.3. Курсовой проект по оборудованию и основам проектирования производств материалов и изделий электронной техники | |
1.3.1. Обоснование выбора типа аппарата | |
1.3.2. Технологический расчет аппарата | |
1.3.3.Конструирование электропечей сопротивления | |
1.3.4. Расчет электропечей сопротивления | |
1.3.5. Конструирование нагревательных элементов | |
1.3.5.1. Рекомендации по выбору материалов | |
1.3.5.2. Конструкции металлических нагревателей | |
1.3.5.3. Конструирование не металлических нагревателей | |
1.3.5.4. Нагреватели из тугоплавких металлов | |
1.3.6. Расчет нагревательных элементов | |
1.3.6.1. Расчет металлических нагревателей | |
1.3.6.2. Расчет карборундовых нагревателей | |
1.3.6.3. Расчет нагревателей из дисилицида молибдена | |
1.3.7. Расчет вакуумной системы | |
1.4. Графическая часть проекта | |
2. ВЫПОЛНЕНИЕ ДИПЛОМНЫХ ПРОЕКТОВ (РАБОТ) | |
2.1. Тематика дипломных проектов (работ) | |
2.2. Структура дипломных проектов (работ) | |
2.3. Технологический раздел |
2.4. Автоматизация производства | |
2.5. Контроль качества и метрологическое обеспечение производства | |
2.6. Мероприятия по охране окружающей среды | |
2.7. Мероприятия по охране труда и безопасности жизнедеятельности | |
2.8. Экономический раздел | |
Приложение I | |
Приложение II | |
Литература |
ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
КВАНТОВОЙ И ТВЕРДОТЕЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ
Составители: Мурашкевич Анна Николаевна
БогомазоваНаталья Валентиновна
Алисиенок Ольга Александровна
Редактор
Подписано в печать . 0 . 2014. Формат 60´84 1/16.
Бумага офсетная. Гарнитура Таймс. Печать офсетная.
Усл. печ. л. Уч.-изд. л.
Тираж 30 экз. Заказ
Учреждение образования «Белорусский государственный
технологический университет». 220050. Минск, Свердлова, 13а.
ЛИ № 02330/0133255 от 30.04.2004.
Отпечатано в лаборатории полиграфии учреждения образования
«Белорусский государственный технологический университет».
220006. Минск, Свердлова, 13.
ЛП № 02330/0056739 от 22.01.2004.